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氣相沉積薄膜與基體附著(zhù)力劃痕試驗儀
根據壓頭上自動(dòng)連續增加的垂直載荷,測定劃透薄膜并使之從其基體上連續剝離所需要的最小載荷, 即薄膜–基體界面附著(zhù)失效的臨界載荷 L C 。
測定 L C 的自動(dòng)劃痕試驗機的結構原理如圖1所示。 該儀器由下列主要部件組成: A—壓頭連續加載電機; B—聲發(fā)射探頭, 探測劃痕產(chǎn)生的聲發(fā)射強度并輸入微機; C—洛氏硬度計標準壓頭; D—試樣臺; E—位移電機, 用以勻速沿水平方向拖動(dòng)試樣臺; F—切向摩擦力傳感器, 連續檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力并輸入微機; G—試樣臺高度升降螺桿; H—加載壓力傳感器; I—光學(xué)顯微鏡(≥40×); J—信號放大器; K—變換控制器; L—微型計算機(嵌入式工業(yè)電腦), 用以實(shí)施測試自控和自動(dòng)處理數據, 并動(dòng)態(tài)顯示及存貯數據與圖形; M—試樣; N—CRT 顯示器; O—繪圖打印機, 輸出試驗結果; P—壓頭加載機構; Q—主支架。
執行標準:JB/T 8554-1997
技術(shù)參數
控制系統:PLC+Windows系統
操作界面:彩色觸摸屏15寸,嵌入式工業(yè)電腦
樣品尺寸:長(cháng)方體: 長(cháng) 40~50mm, 寬 30~45mm, 高 6~20mm; 或圓柱體 φ (40~45)mm×(6~20)mm;
樣品要求:試樣在溫度(20± 5)℃和相對濕度(50±10)%RH的條件下至少放置 8 h, 然后按規定步驟測試只需很少的測試次數即可評價(jià)劃痕特性;
壓頭規格:按 GB/T 2848 規定的條件選擇金剛石壓頭(頂角 120°, 頂端半徑 R 在 200 μ m± 5 μ m范圍內), 在不小于 40 倍的顯微鏡下檢測壓頭, 確認其頂端是光滑潔凈的球面, 方可使用。
劃痕速度: (10± 1)mm/min可在觸摸屏任意設置;
加載速率: 對硬質(zhì)薄膜為(20~40)N/min;對非硬質(zhì)薄膜為(5~10)N/min;極限壓力100N;
精度: 0.03 N;
電機:伺服電機86型+驅動(dòng)器;
運動(dòng)模式:絲桿+導軌,精度0.001mm;
光學(xué)顯微鏡:50倍以上鏡片配置;
曲線(xiàn)圖:加載壓力,恒定壓力,摩擦力,垂直載荷關(guān)系圖,XY關(guān)系圖;
測試高度范圍:0-100mm;
測試模式:往復式運動(dòng),可單線(xiàn)運動(dòng),工業(yè)電腦觸摸屏上設置;
運動(dòng)范圍:Y距離0-900mm,Y距離0-540mm;
用電:220V,120W,20A,50hz;
外形尺寸約:1000mm*600*640mm;